Плазмадан химиялық буға тұндыру (PECVD) процесінде, радиожиілікті электр беруден бастап, газды басқаруға дейінгі әрбір электрлік қосылыс жұқа қабықшалы тұндыру мен чиптің шығуының біркелкілігіне тікелей әсер етеді. Миниатюралық жабдықтардың, жоғары вакуумның және күшті электромагниттік кедергілердің қатал ортасына тап болу,WAGO«Ықшамдылық, сенімділік және тиімділік» сияқты үш негізгі артықшылығы бар picoMAX® қосқыштары PECVD жүйелері үшін тамаша қосылым шешіміне айналды.
Инновациялық ықшам дизайн
Дәл камера орналасуына бейімделу
PECVD жабдығының ішкі кеңістігі шектеулі, бұл реакция камерасының айналасында қуат, сигнал және сенсорлық желілердің тығыз орналасуын талап етеді. picoMAX® бір серіппелі, қос әрекетті дизайнды қолданады, 3,5/5,0/7,5 мм бірнеше түйреуіш қадамдары бар. Жұптастырғаннан кейін ол алдыңғы өнімдерге қарағанда 30%-ға аз орын алады, бұл камераның айналасындағы сым талаптарына тамаша бейімделеді. Оның тесік тәрізді қосқышы түйреуіш коллекторға толығымен дерлік енгізілген, полюстерді жоғалтпай қатарлас құрастыруды қолдайды, бұл схема тақтасын пайдалануды айтарлықтай жақсартады және технологиялық газ ағыны өрісіне кедергі келтірмей сигнал мен электр желілерін ретті түрде орналастыруға мүмкіндік береді.
Төтенше жұмыс жағдайларынан сенімді қорғаныс
PECVD процестері жоғары вакуумды, жоғары жиілікті плазмалық және діріл орталарын қамтиды, бұл қосқыштың сенімділігіне қатаң талаптар қояды. picoMAX® жоғары жиілікті дірілден туындаған қосылыстың босаңсуына жол бермейтін, 12 г дейінгі дірілге төзімді тұрақты құрылымға ие. Сондай-ақ, ол орнату қателерін жоятын және кездейсоқ ажыратудың алдын алатын, жабдықтың тоқтап қалуынсыз үздіксіз жұмысын қамтамасыз ететін, дұрыс емес енгізуге қарсы дизайн мен құлыптау құрылғысын қамтиды.
Құралсыз жылдам қосылу
picoMAX® құралсыз жылдам қосылу технологиясымен ерекшеленеді, бұл суық сығымдалған қосқыштары бар бір жіпті және көп жіпті сымдар үшін «қосып ұстап тұру» қосылымдарын жасауға мүмкіндік береді. Күрделі сым қосылымдары бір қадамда аяқталады, бұл құрастыру тиімділігін айтарлықтай жақсартады және жөндеу циклдарын қысқартады. Модульдік дизайн автоматтандырылған өндірістің шығындарды азайту қажеттіліктерін қанағаттандыратын қайта ағып жатқан дәнекерлеу процестерімен үйлесімді. Сондай-ақ, ол барлық PECVD қосылу сценарийлерін қамтиды: 3,5 мм түйреуіш қадамы 0,2-1,5 мм² сигнал сымдарын орналастырады, ал 5,0/7,5 мм түйреуіш қадамы 16А электр желілерін қолдайды. Ол сымнан тақтаға және қабырға арқылы орнату әдістерін қолдайды, басқару шкафы мен қуыс сымдарымен үйлесімді және GB/T 5226.1 электр қауіпсіздігі стандарттарына сәйкес келеді, бұл процестің тұрақтылығы үшін берік қорғаныс жасайды.
Нанометрлік деңгейдегі процестің дәлдігі өте маңызды болған жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде сенімді қосылыстар жоғары өнімділіктің кепілі болып табылады.WAGOpicoMAX® өзінің революциялық өнім дизайны тұжырымдамасымен ықшам кеңістікте «кішкентай өлшемді, жоғары өнімділікті» қамтамасыз етеді, PECVD жабдықтары үшін тұрақты, тиімді және ұзақ мерзімді қосылым шешімдерін ұсынады. Бұл жартылай өткізгіш өндірушілерге әрбір чиптің микрометр деңгейіндегі дәлдігін сақтай отырып, дәлдікпен өңдеу қосылымдарының қиындықтарын жеңуге көмектеседі.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 13 наурыз